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对用于ICF驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化,使其具有更优的分频效果.在此基础上,对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析,给出了分频光栅具有良好分频效果时工艺上所能允许的误差范围.
用于ICF驱动器的分频光栅两种工艺误差分析
【摘 要】
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对用于ICF驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化,使其具有更优的分频效果.在此基础上,对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析,给出了分频光栅具有良好分频效果时工
【机 构】
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中国科学技术大学物理系
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2003年5期
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)
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