论文部分内容阅读
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用.
微光机电系统及其应用
【摘 要】
：
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息、军事、航天
【机 构】
：
上海交通大学
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2001年3期
其他文献
根据国内外研究和发展现状，对有望突破100nm超精细图案光刻分辨率的一些关键技术进行了阐述，其中包括曝光技术、掩模技术、光学系统改进和以离轴照明、相位移掩模、多重滤光和
针对当前学生遴选授课教师中的不足，采用问卷调查的方法确定授课教师评价体系，建立层次模型．并基于问卷调查结果确定成对比较矩阵，用改进的层次分析法确定各指标层次的权重，计算方
针对目前高校大学生足球课程中学生与教师存在的问题，对高校足球教学进行了研究．结果表明，足球课中学生学习积极性不高、教师教学内容、教学手段单一等是造成学生不喜欢足球的主
针对氧化铝粉流量需在线精确测量,在线分析仪表成本较高和测量滞后的问题,提出了一种将核主元分析(KPCA)和最小二乘支持向量机(LSSVM)两种方法相结合的软测量混合建模方法,通过核主元分析(KPCA)提取数据非线性主元,并利用最小二乘支持向量机(LSSVM)建立氧化铝粉流量预测模型,预测结果表明该模型具有更好的非线性数据处理能力,运算速度快、跟踪性能好以及泛化能力强等优点,能满足氧化铝粉流量的在线
概略地介绍了在电子束暴光机上使用的自动输片系统的要求及其组成；较详细地叙述了自动输片控制系统的硬件组成及软件设计；最后给出了运行和检测结果。
评价指标权重的确定对教学评价结果的客观性和合理性有重要影响.把扩展正域方法决定的属性重要度和专家打分方法结合确定每个指标的权重,可以降低主观经验对指标的权重的影响
基于对兰州文理学院社会体育专业培养方案的分析结果,探讨了社会体育专业根据社会需求和就业导向合理设置课程的必要性,以及培养学生具有较高专业素质和熟练专业技能的教学改
为了研究细胞因子在银屑病中的作用，用ＥＬＩＳＡ法测定了银屑病患者血清中ＴＮＦα和ＩＬ－６的水平。结果显示银屑病患者血清中ＴＮＦα和ＩＬ－６水平高于正常对照组（Ｐ〈０．０１）。ＴＮＦα和ＩＬ－６的增高在银屑病的发病机制中起重要作用
本文给出划分一种ＬＳＩ版图设计图形为曝光单元集的一个算法。该算法可同时获正、反两种曝光单元集，为曝光方式的选择提供了灵活性。