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概略地介绍了在电子束暴光机上使用的自动输片系统的要求及其组成；较详细地叙述了自动输片控制系统的硬件组成及软件设计；最后给出了运行和检测结果。
亚微米电子束曝光机自动输片控制系统研制
【摘 要】
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概略地介绍了在电子束暴光机上使用的自动输片系统的要求及其组成；较详细地叙述了自动输片控制系统的硬件组成及软件设计；最后给出了运行和检测结果。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年4期
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