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用射频溅射法制备出了PTC-BaTiO_3薄膜,基片为Al_2O_3和石英玻璃,基片温度为400～500℃,溅射气氛为纯氧气。试验结果表明不经后续热处理薄膜即具有PTC效应。测试了薄膜的阻温特性、化学组成、厚度及沉积方式。
PTC薄膜的射频溅射制备与性能
【摘 要】
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用射频溅射法制备出了PTC-BaTiO_3薄膜,基片为Al_2O_3和石英玻璃,基片温度为400～500℃,溅射气氛为纯氧气。试验结果表明不经后续热处理薄膜即具有PTC效应。测试了薄膜的阻温特
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1992年4期
【基金项目】
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中科院上海冶金所离子束开放研究室资助
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