【摘 要】
：
为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度
【机 构】
：
上海交通大学微纳米科学技术研究院微/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜和微细技术教育部重点实验室,江南大学信息工程学院,
论文部分内容阅读
为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。
In order to improve the wettability of microstructure in nickel sulfamate bath, the effects of sodium dodecyl sulfate (SDS) as wetting agent and oxygen plasma modification on the surface of microstructure were studied The effect of both methods. Polarization curves of four different nickel sulfamate baths with different SDS concentrations were tested. Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) was used to characterize the surface composition of photoresist under different modification times. A method to characterize the wetting of microstructures is proposed. Experiments show that adding SDS does not affect the precipitation potential of nickel in nickel sulfamate solution. The FTIR test results show that the introduction of a hydrophilic hydroxyl group on the photoresist surface by oxygen plasma modification enhances the wettability of the microstructures constructed by the photoresist. The results showed that the microstructure array with aspect ratio of 1 and line width of 50μm could be completely infiltrated by nickel sulfamate nickel bath containing SDS0.5kg / m3 within 15min after oxygen plasma modification for 5s.
其他文献
We studied the relationship between corona structure and properties of solvent-free Fe_3O_4 nanofluids. We proposed a series of corona structures with different
A novel structure of silicon-riched nitride (SRN)/silicon-riched oxide (SRO) is proposed and prepared using RF reactive magnetron co-sputtering. High temperatur
长期以来初中物理教学的现状一直困扰着广大初中教师。针对这一现状，我结合多年的教学实际，根据新课标理念，就建立新型的师生系，让学生经历探究过程，优化课堂教学过程等方面作了一些尝试。 新旧课程最根本的区别在于理念。新课程主张平等、民主、和谐的师生关系，倡导教师是学生学习的促进者、合作者、研究者，所以教师要营造一种宽松、融洽的课堂教学氛围，让学生主动参与、主动探究、主动合作等新型的学习方式，真正让学生
本文提出了一个基于因特网的中文搜索引擎模型,并从数据组织结构、搜索策略及实现算法等方面进行了论述。
This paper presents a Chinese-based Internet search engine mo
An amperometric hydrogen peroxide biosensor using a nanobiocomposite based on neutral red modified carbon nanotubes and co-immobilized glucose oxidase and horse
Antibacterial Ag-agents are intensively applied as broad spectrum, high-stability, high-efficiency and high-safety inorganic antibacterial agents. We have devel
【摘 要】现在社会处于信息时代，学生平时在生活中得到信息也是相当大而快，而初中年龄段的学生的特点是，求知欲望较强，特别是对新鲜事物接受快，但不喜欢抽象的乏味的东西，所以好多同学不喜欢数学，只有乏味的计算、严密而难于理解的推理，缺乏创造性和趣味性。本文根据作者多年工作经验就初中数学教学中能力的培养进行了简单的阐述。 【关键词】初中 数学教学 能力 培养 一、教师要培养学生良好的数学思想 数学是
在三维图形中,对区域进行不规则的划分,并对划分后区域内的地形进行抽取有着非常重要的应用。通常三维图形其边界多是不规则的,因此使用球,正方形等规则图形进行区域的选择存在一定的局限性,并且通过程序来判断三角形是否在指定的区域内部是繁琐的。因此本文使用了Windows API函数,利用Jni接口在Java中调用API函数,简化了区域的不规则划分及区域内部三角形的抽取过程。
Co@Au core shell nanoparticles(NPs) of different shell thicknesses were fabricated by a combination of the displacement process and the reduction-deposition pro
随着网络设备与网络架构的发展越来越多元化和复杂化,政府、企业、军队等机构的网络管理及安全事件处置方法也亟待优化改进。针对这些问题,本文提出了一种基于Chatbot的网络管理及安全事件处置方法,通过借助Chatbot的智能化交互特性,可有效地辅助网络管理、优化安全事件处置流程、减小经济成本及提高工作效率。