金刚石膜在Si（100）衬底上的选择沉积

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tyhz3030

【摘要】

：

采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在Si(100)衬底上金刚石膜的选择沉积.用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分

【作者】

：

常开朋程文娟江锦春张阳朱鹤孙沈德忠

【机构】

：

清华大学化学系,清华大学化学系

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

：

金刚石膜 SI(100) 硅衬底微波等离子体化学气相沉积铜网模板选择沉积 diamond films Si (100) substrates MPCVD

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用自行设计的微波等离子体化学气相沉积系统,利用铜网作为模板实现了在Si(100)衬底上金刚石膜的选择沉积.用场发射扫描电子显微镜(SEM)、Raman散射谱对样品进行了表征与分析.并与同样生长条件下未采用模板时得到的金刚石样品进行了比较.结果发现,采用模板后,金刚石膜的成核密度和质量都得到很大提高.

其他文献

少齿差钢球传动减速器的研究

少齿差钢球传动减速机构中，钢球放置在输出盘的径向导槽内与动曲线盘上的曲线沟槽和定曲线盘上的曲线沟槽同时啮合，钢球作为中间传动件通过输出盘将动力输出，研制成功了传动比大

期刊

曲线钢球传动高传递精度减速器Curve Steel ball transmission High transmission precision Redu

企业商务谈判中讨价还价的运用

中国与世界各国的经济联系日益密切,同时与各国的合作和矛盾纠纷也更加频繁,特别是面对各种贸易壁垒和产权纠纷,商务谈判的地位显得日益重要并且呈现出国际化的特征。中国企

期刊

讨价还价技巧与策略发展趋势

奥斯卡·王尔德童话的现实性

王尔德打破了传统童话模式,创立了另一种以现实主义为基调,运用讽刺、批判手法并配以童话外壳的童话格局。童话的变异,传统意象的颠覆,人物性格的复杂及同性禁忌之恋的描摹,

期刊

奥斯卡·王尔德童话现实性

小学音乐教学应重视审美教育

音乐作为艺术教育的一部分,在陶冶学生情操、净化学生心灵等方面有着举足轻重的作用,本文从音乐的审美作用、小学音乐教育的措施两方面来阐述音乐在小学生审美教育方面的意义

期刊

音乐教学审美教育美的意境美的内涵

细节决定成败——初中历史课堂有效教学行为研究

本文以提升初中历史课堂教学有效性为目的,在分析当前课堂教学现状的基础上,针对存在的问题和误区,以关注细节教学为切入点,从构建历史教学资源、挖掘隐性历史知识、拓展历史

期刊

初中历史有效教学关注细节改进策略

化学气相传输法生长ZnO单晶及性质研究

利用化学气相传输法生长了ZnO单晶。在无籽晶自发成核的条件下，使用碳辅助增强质量传输方法，得到了晶粒尺寸达4mm×10mm的ZnO晶体。利用长有GaN层的蓝宝石晶片作为衬底，得到

期刊

氧化锌化学气相传输单晶生长zinc oxide chemical vapor transport single crystal growth

大功率重载密炼机行星齿轮箱研究

密炼机齿轮箱是橡胶行业密炼机核心传动部件,其性能直接决定橡胶密炼效果。介绍了大功率重载密炼机行星齿轮箱原始参数、结构布局、齿轮设计、行星机构设计、润滑密封等。

期刊

密炼机齿轮箱大功率重载行星机构Mixer gearbox Large power and heavy load Planetary mechanism

双膜法水处理系统微生物污堵控制研究

华南某炼化厂反渗透系统出现严重污堵。对原水、污染物化验分析表明,系统原水水质变差,杀菌措施不到位,造成系统微生物大量繁殖滋生,是形成严重的微生物污堵的主要原因。采取

期刊

超滤保安过滤器反渗透杀菌剂Ultrafiltrationsecurity filterreverse osmosisbactericide

HPLC法测定芪归益母膏中芍药苷的含量

目的:建立高效液相色谱法测定芪归益母膏中芍药苷的含量。方法:色谱柱InertSustain C18柱5μ(250mm×4.6 mm),流动相为乙腈-0.1%磷酸(15∶85),检测波长为230 nm,流速为1.

期刊

HPLC芪归益母膏芍药苷含量测定HPLCQiguiyimu GaoPaeoniflorinContent determination

乙草胺和甲胺磷对农田黑土可培养真菌数量及种群结构的影响

应用传统及PCRDGGE方法(denaturinggradientgelelectrophoresis),分别对不同浓度乙草胺、甲胺磷胁迫下黑土中可培养真菌CFU(colonyformingunits)、种群丰富度(richness)及种

期刊

乙草胺甲胺磷真菌种群PCR-DGGE黑土

金刚石膜在Si（100）衬底上的选择沉积

与本文相关的学术论文