【摘 要】
：
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一.电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究.电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括
【基金项目】
：
National Natural Science Foundation of China
论文部分内容阅读
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一.电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究.电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥损耗.对电容式RF MEMS开关建立了损耗模型并进行了数值计算,同时在HFSS有限元软件中进行了电磁仿真,数值计算结果和有限元仿真结果较好的吻合.此外,对影响电容式RF MEMS开关插入损耗的因素进行了分析,结果表明,高阻抗的衬底、200 μm左右的导体宽度、较小的导体厚度以及较小的up态电容能够降低开关的插入损耗,提高开关的射频性能.
其他文献
结合压电原理和仿生学理论,利用MEMS工艺制作的仿生矢量水听器,具有高灵敏度、宽频带、矢量性及高信噪比等特点.为了进一步提高水听器预测水下环境中声学特性的准确性并提高
芯片级原子钟主要包括射频模块、物理封装模块以及其他的外围控制模块.射频模块的设计关系到芯片级原子钟的短期稳定度,所以射频模块在芯片级原子钟的设计时是非常重要的一部
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流
针对传统微带天线带宽窄和增益低等问题,设计了一种易与射频(RF)前端集成的硅基微带天线.该天线设计结合MEMS工艺,将高阻硅和低阻硅通过键合工艺形成双层硅基底,来改善微带天
超透镜光刻技术是一种很有前景的纳米结构成像技术,由于其具有可以克服衍射极限的能力,直到2005年,张翔和他的同事在365 nm紫外线波长下成功的对一排纳米线和刻在高分子膜上
目的:探讨Treg、Th17细胞及Treg/Th17比率与肝功能的相关性,以便更好地反映慢性乙型肝炎(CHB)患者肝脏免疫炎症.方法:收集41例HBeAg阳性CHB患者、29例HBeAg阴性CHB患者和20例
水土资源不仅是人类生存和发展的物质基础,而且是农业生产的基本保障。保护好水土资源不仅是当前农业发展的需要,而且也是生态建设和环境保护的重要内容,需要实现对水土资源
近年来,人们的环境和生态保护意识不断提升,人与自然的关系也不断升华,各个城市都加快了生态化建设的进程.生态理念已在城市建设中得到了越来越深入的运作.分析了城市垃圾污
现在社会已经进入信息科技的发展时代，原有的计算机基础课程已经不能满足现有的教学需求，需要在教学体制和教学模式上做个彻底的改革。本文针对计算机基础课程在教学过程中存在
介绍了新型园林建设模式,包括合理的植物配置,增加群落稳定性,因地制宜,设计符合不同地域特色的风景,选用低碳友好型材料,降低园林后期维护成本等。
Introduced the new gar