【摘 要】
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绝缘栅双极晶体管IGBT作为新型电力电子器件技术里最先进的产品之一,被称为电力电子行业内的“CPU”.本文阐述了IGBT器件结构的发展变化,包括IGBT结构上的发展历史及其产品特
【机 构】
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上海微电子装备(集团)股份有限公司,上海 201203
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绝缘栅双极晶体管IGBT作为新型电力电子器件技术里最先进的产品之一,被称为电力电子行业内的“CPU”.本文阐述了IGBT器件结构的发展变化,包括IGBT结构上的发展历史及其产品特点,系统概述了基于目前常规的IGBT进行工艺改进产生新的器件结构,重点介绍并讨论了制备这些新器件所采用的技术措施以及这些新结构的优缺点,最后介绍了IGBT未来发展的趋势及给国产装备带来的机会与挑战.
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