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采用射频磁控溅射法在不同衬底温度下沉积了一系列ZnO和ZnO：Mn薄膜。结合x射线衍射谱和扫描电子显微镜，分析了不同温度条件下的ZnO和ZnO：Mn薄膜的结构特性。结果显示：ZnO和ZnO：Mn薄膜均呈现出显著的（002）定向生长特征，与ZnO的（002）衍射峰相比，相应条件下生长的ZnO：Mn（002）衍射峰均向小角度偏移，这主要是由于大离子半径的Mnn替代了Zn2＋的结果。同时随着衬底温度的升高，薄膜形貌得到明显改善，晶粒尺寸呈现减小趋势。