真空静电封接过程与分析

来源 :福州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:william__2008
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叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子质谱分析器 (SIMS)进行分析 ,提出了真空静电封接的类电容器结构的新模型 .
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