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真空静电封接过程与分析
真空静电封接过程与分析
来源 :福州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:william__2008
【摘 要】
:
叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子质谱分析器 (SIMS)进行分析 ,提出了真空静
【作 者】
:
吴新坤
郭太良
【机 构】
:
福州大学电子科学与应用物理系!福建福州350002,福州大学电子科学与应用物理系!福建福
【出 处】
:
福州大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
真空
静电封接
工艺
SEM
半导体
玻璃
封接质量
vacuum electrostatic bonding techniques analysis
【基金项目】
:
福建省自然科学基金资助项目!(F96 0 2 4 )
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叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子质谱分析器 (SIMS)进行分析 ,提出了真空静电封接的类电容器结构的新模型 .
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