静电封接相关论文
硅电容加速度传感器由硅可动电极和玻璃固定电极封接而成.固定电极的加工质量对传感器的性能有很大的影响.本文从封装的角度讨论了......
本文介绍了玻璃-硅-玻璃静电封接的基本原理,阐述了经过改造后的DFJ-Ⅲ型静电封接设备能实现硅电容式加速度计的静电键合和精确对......
该文叙述了采用DFJ--Ⅲ型静电封接机进行玻璃－硅－玻璃三层静电封接微硅传感器芯片的工艺路线和典型工艺参数，重点分析了封接面洁净程......
叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子......
通过对静电封接结构的受力分析，建立了静电封接事弹性膜片的热失配位力数学模型，并分析了改善微压传感器性能的技术途径。......
<正> 静电与传感器及敏感元件,虽表示完全不同的概念,却有着某种内在联系。在电子仪表工业中,静电的影响和危害都是很大的。它是场......
根据静电封接的机理，配制了一种低温玻璃作为封接材料，初步完成了常温下的静电封接实验。......
叙述了采用ＤＦＪ－Ⅲ型静电封接机进行玻璃－硅－玻璃三层静电封接的工艺方法和典型工艺参数，重点分析了洁净程度、封接温度，封接电压等工艺参数......
真空静电封接机是硅压阻式传感器制造技术中的关键设备之一。它可实现硅压阻芯片的无应力、无蠕变封闭，以保证硅压阴式传感器特有的......
本文利用板壳理论，分析在硅与玻璃静电封接时，硅与玻璃界面的静电力与硅片弯曲应力的关系，推导出封接成功的条件，即界面间距ｄ与电压Ｖ，刚度......
论述硅与玻璃真空静电封接的工作原理、实验方法以及形成硅杯的各向异性腐蚀技术．关键词......
叙述了真空静电封接技术的工艺过程 ,对封接结果做扫描电子显微镜 (SEM)断面观察 ,并对封接件断面的元素浓度的深度分布用二次离子......
采用硅－硼硅酸盐玻璃静电封接技术、单晶硅微米级减薄技术和金属膜制做技术，设计了一种新型ＳＯＩＭ结构微压传感器，并对其结构、特性和制作过......
对于新近发展起来的新一代结构型力敏器件,如硅电容力敏器件、电容型加速度力敏器件等,常规的静电封接工艺已无法满足其小间隙(间......
静电既有危害,也能应用。本文介绍了静电封接在压力传感器生产中的应用,分析了原理,介绍了土艺、制备和新的封接方法,对提高产品质......
