【摘 要】
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动态响应的迟滞非线性是影响压电陶瓷驱动器高精度控制性能的一个重要因素,必须在控制中加以动态校正补偿.但由于驱动器的材料、结构和工作条件各异,所以关于动态非线性的定
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动态响应的迟滞非线性是影响压电陶瓷驱动器高精度控制性能的一个重要因素,必须在控制中加以动态校正补偿.但由于驱动器的材料、结构和工作条件各异,所以关于动态非线性的定量描述难以建立一个统一的数学模型.针对这个问题,将PID参数的模糊自调整算法应用于微位移工作台,建立了一个动态特性的闭环校正控制系统,真正实现了工作台的快速响应.
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