【摘 要】
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介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。
The working principle of gas micro-flow standa
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介绍了气体微流量标准装置的工作原理，并对其测量不确定度进行了分析与验证。测试结果表明：流量的校准范围为１７．１～１．２２×１０￣（－５）ＰａＬ／ｓ，不确定度为２％。
The working principle of gas micro-flow standard equipment is introduced, and its measurement uncertainty is analyzed and verified. The test results show that the calibration range of flow rate is 17.1 ~ 1.22 × 10 ~ (-5) PaL / s and the uncertainty is 2%.
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