一种新的光学临近校正方法

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Lisa2005
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
提出了一种新的光学临近矫正算法.首先建立了一套高效并且适用性强的规则描述,然后提出了一种新的规则运用方法.算法在规则数据表的基础上通过v-SVR方法建立规则描述同矫正数据之间的数学表达式,使得对于任意输入的规则描述都能够精确计算出相应的矫正数据.实验结果表明,该算法比传统的查表插值方法具有更高的精度.
其他文献
目的:通过对28例咽部瘢痕进行局部注射长效激素曲安奈德的治疗,总结咽部瘢痕治疗的经验。方法:用扁桃体手术用注射针头抽吸曲安奈德沿咽部白色条索状瘢痕组织进针,每一点注射药物
策略路由技术是对传统路由技术的扩展和改进,基于策略的路由比传统路由使用更灵活,不仅能够根据目的地址,而且能够根据报文大小、应用或IP源地址来选择转发路径.分析校园网的
<正>肺间质纤维化是累及肺间质及肺泡腔,引起肺泡-毛细血管功能丧失的弥漫性疾病,其主要临床表现为干咳,进行性呼吸困难,随着病程进展,晚期可出现肺动脉高压、肺源性心脏病,
新媒体背景下,大学生价值取向趋于多元化。新媒体相对于传统媒体的传播特征与优势,使大学生道德教育工作面临机遇与挑战。本文针对新媒体发展过程中对大学生道德教育的影响进行
在自行安装的具有气相色谱在线分析功能的固定连续流动反应装置上,考察制备的NiO/Al2O3催化剂对环戊二烯选择加氢制备环戊烯的催化性能;并对通过添加MgO组分得到的催化剂NiO/MgO-Al2O3对CPD选择加氢制备CPE的催
中等职业教育实训教师下企业实践锻炼, 目的是为了让教师了解企业的生产方式和管理制度, 熟悉企业相关岗位职责和操作规范, 把握本专业的新知识、 新技能、 新理念和新方法,
针对山西铝厂种分生产工艺条件,研究高浓度铝酸钠溶液种分分解过程中硫酸钠杂质对分解过程的影响规律.结果表明,硫酸钠在分解前期使分解率降低,但随着分解末温的降低,硫酸钠
随着“全面放开二胎”政策的正式开放,非独生子女家庭成增长趋势。同胞关系是人生中持续时间最长的人际关系,是影响着孩子自身发展和未来、影响着整个家庭未来的一种“强制”关
采用密封恒温-可见光分光光度法测定废水中的COD,研究重铬酸钾氧化测定的适宜条件.相对标准偏差为0.44%,加标回收率为94.5%~102.2%,测定范围是0~1 600 mg/L.适用于批量环境样品
摘要:近年由于多胎妊娠、各种流产、剖宫产及各种宫腔操作的的增多,子宫腺肌病的发病率逐渐升高,子宫腺肌病作为一种多发和难治的疾病,严重影响妇女的生活质量。中医基础理论指导下的多样化治疗具有显著的优势,本文就腺肌病的中医内、外治疗概况综述如下。  关键词:子宫腺肌病;中医治疗;综述  中图分类号:R2711 文献标志码:A 文章编号:1007-2349(2016)08-0091-03  子宫腺肌病(a