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新型微机械陀螺采用了谐振敏感原理,其具有直接准数字式频率输出、高灵敏度、高线性、自解耦等优点。结构包括内外质量块、支撑梁、折叠梁、两级杠杆放大机构、双端固支音叉(DETF),质量块驱动梳齿、质量块反馈检测梳齿、DETF驱动和检测梳齿。采用了两级杠杆放大机构、质量块外置、框架结构等措施来提高陀螺的性能。从仿真结果可以看出,传感器灵敏度为0.309Hz/(deg·s^-1)。测量范围为±300deg/s,在测量范围内,线性度为9.4×10^-8。驱动方向上DETF的振幅减到外质量