电子显微镜中磁偏转线圈的设计

来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liguang1233000
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本文采用磁标位的付利叶展开法计算偏转场,采用镜象法考虑铁磁屏蔽增强作用,给出了设计磁偏转线圈的简单方法,最后比较了几种常用的线圈结构,並给出了相应的工程设计公式。 In this paper, the deflection field is calculated by the Fourier expansion method with magnetic bits, the enhancement of ferromagnetic shielding is considered by the image method, and the simple method of designing magnetic deflection coils is given. Finally, several commonly used coil structures are compared and given The corresponding engineering design formula.
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