【摘 要】
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针对微尺度下构件的力学性能测量问题，搭建一种片外驱动微拉伸测试装置。该测试装置具有高精度的力载荷与位移检测能力，精度分别达毫牛级和亚微米级；可在线标定装置的刚度系数，利
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针对微尺度下构件的力学性能测量问题，搭建一种片外驱动微拉伸测试装置。该测试装置具有高精度的力载荷与位移检测能力，精度分别达毫牛级和亚微米级；可在线标定装置的刚度系数，利用弹簧串联模型获取试样的拉伸变形。在微构件轴向对准、夹持方面采用凹凸台载物片与松香一乙醇溶液粘合的方式，有效提高了微拉伸测试技术的精度、可靠性与重复性。利用该装置可测量微构件的弹性模量、断裂强度等力学性能。用该装置测量了单晶硅梁在（110〉晶向上的弹性模量，并分析了装置的测量误差。
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