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角度限制散射投影电子束光刻(SCALPEL)采用并行投影技术,具有分辨率高、曝光范围大的特点,可望获得远比电子束直写光刻高的产量.本文介绍了SCALPEL的原理、特点及该技术的研究进展情况.
角度限制散射投影电子束光刻
【摘 要】
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角度限制散射投影电子束光刻(SCALPEL)采用并行投影技术,具有分辨率高、曝光范围大的特点,可望获得远比电子束直写光刻高的产量.本文介绍了SCALPEL的原理、特点及该技术的研
【机 构】
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河北大学电子与信息工程学院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年10期
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