B306超显微抛光MK2离子减薄仪原理及故障分析

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B306超显微抛光MK2离子减薄仪(英国制),主要用于透射电子显微镜薄膜样品的制取,所制得的样品质量较高,但制取时间较长。通常用于质量要求较高或难于采用双喷电解腐蚀方法进行减薄的材料,如陶瓷、硬质合金等。其工作原理为:在一个高真空的圆筒试样室里,有A、B两个工作离子枪及一个检测自动终止离子枪。A、B两枪相对安装于试样两侧,试样置于中间,试样表面与离子枪连线成20~30度为宜(角度可调)。每个离子枪有一个进气孔,一个高压阳极及一个离子束流的检测极。离子枪基 B306 ultra-micro-polished MK2 ion thinning instrument (British made), mainly for the preparation of transmission electron microscopy film samples, the sample produced by the higher quality, but a long time. Usually used for high quality or difficult to use dual spray electrolytic etching method for thinning of materials, such as ceramics, cemented carbide and so on. Its working principle is: In a high vacuum cylinder sample chamber, there are A and B two working ion guns and a test to automatically terminate the ion gun. A, B two gun relatively mounted on both sides of the sample, the sample is placed in the middle of the sample surface and the ion gun connected to 20 to 30 degrees is appropriate (angle adjustable). Each ion gun has an air inlet, a high voltage anode and an ion beam detection pole. Ion gun base
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