【摘 要】
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薄膜体声波谐振器（FBAR）以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用，对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究成为研究热点。本文引入传输矩阵法研究薄膜
【机 构】
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西安科技大学理学院,西安科技大学机械工程学院
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薄膜体声波谐振器（FBAR）以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用，对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究成为研究热点。本文引入传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器，利用该方法推导薄膜体声波谐振器的输入阻抗公式，并利用该公式研究了Al／AlN／Al结构的FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数。结果证明，该阻抗公式可有效的用来设计或评价FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数等重要参数。
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