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本发明涉及的工艺装置包括Claus反应炉、Claus废热锅炉、SO3燃烧部分和Claus转化部分。其中Claus反应炉有1个入口和1个出口,Claus废热锅炉有1个气体入口、气体出口和可选择的元素硫出口,SO3燃烧部分有1个气体入口和气体出口,Claus转化部分有1个气体入口、气体出口和元素硫出口。