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电子非弹性散射平均自由程（IMFP）是用表面电子能谱进行表面化学定量分析时极为重要的一个参数，它可以用测量的弹性峰电子能谱分析以及蒙特卡洛模拟来确定．为了更加精确地确定电子非弹性散射平均自由程，必须对弹性峰电子能谱中的表面激发效应进行修正，通常使用介电响应理论方法计算得到的表面激发参数然而，通过理论计算得到的表面激发参数不能包含电子在材料内部输运过程中弹性散射的影响，进而影响所测的电子非弹性散射平均自由程的准确度在这个工作中，我们采用蒙特卡洛方法来确定包含弹性散射效应时的表面激发参数．所得到的表面激发参数