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考虑静电力边缘效应的影响，建立了微悬臂梁大挠度变形的静态变形分析模型，通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组，结合非线性方程组求根、迭代修正齐次扩容精细积分法和增量迭代法，提出了一种分析微悬臂梁大挠度变形的半解析、半数值算法。数值算例表明：该方法具有较高的精度和稳定性，是分析微悬臂梁变形的一种有效方法；通过对微梁静态特性的分析表明：考虑边缘效应后微梁的吸合电压减小，考虑大挠度变形的影响后微梁的吸合电压增加。