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该设备由反应室组件、射频等离子放电组件、真空组件、操作防护与排放处理组件、电控组件、气化组件组成，以PLC（可编程逻辑控制器）为控制核心，以触摸屏为人机界面，其自动化程度高、结构紧凑、外形美观．
液态源金属有机物化学气相沉积设备
【摘 要】
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该设备由反应室组件、射频等离子放电组件、真空组件、操作防护与排放处理组件、电控组件、气化组件组成，以PLC（可编程逻辑控制器）为控制核心，以触摸屏为人机界面，其自动化程度高
【机 构】
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科研处（整理）
【出 处】
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西安工业大学学报
【发表日期】
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2006年4期
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