论文部分内容阅读
介绍了20 nm平面技术生产线前端缺陷减少的方法、结果及改善。介绍的缺陷检测优化与缺陷减少方法是针对高性能逻辑器件所用的300 mm晶圆上的高介电常数金属栅极（HKMG）层叠模块而实施的。
20nm高介电常数金属栅极缺陷减少技术
【摘 要】
：
介绍了20 nm平面技术生产线前端缺陷减少的方法、结果及改善。介绍的缺陷检测优化与缺陷减少方法是针对高性能逻辑器件所用的300 mm晶圆上的高介电常数金属栅极（HKMG）层叠模块
【机 构】
：
STMicroelectronicsCrolles2SASCrolles,KLA—Tencor公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2017年1期
其他文献
以七自由度焊接机器人为研究对象,采用D-H法建立了数学模型,进行了正运动学和逆运动学算法分析。采用三维软件和MRDS对机器人进行联合建模,并基于MRDS对焊接机器人进行了仿真
PECVD工艺多是采用进口无油机械泵组获得生产工艺要求的真空工艺条件,根据真空泵组的基本原理与结构,分析了影响真空泵组使用寿命的主要原因。依据多年维修经验,编写了真空泵
戴维·希尔伯特是德国数学家，领导了著名的哥廷根学派，使哥廷根大学成为当时世界数学研究的中心，并培养了一批对现代数学发展有突出贡献的杰出数学家，被称为“数学界的无冕之
小明问小红：“你多少岁了？”小红想考一考他，于是给出了这样的回答：“我后天就12岁了，可是去年的1月1日，我还是个9岁的小女孩。” 小明表示不相信。你们觉得小红说的话可信吗？ 解析参考： 从文中小红的话来看，她在一段时间内跨越了3岁，那么，唯一成立的条件是：小红的生日是1月2日，她和小明的这段对话发生在12月31日。 后天，也就是明年1月2日，小红就12岁了，那么她和小明说话的时候，也就是
上手工课时，老师要求我们课后准备纸条。回家后，我裁了很久都没有裁出几条，好不容易裁好了几条，却粗细不一样，苦恼不已。 我去请教爸爸，爸爸说：“很简单，把两把刀绑在一起裁就行了。”可如何将两把刀绑在一起呢？我左思右想，终于想到了将刀片固定在刀柄上这一方法。 爸爸帮忙做好刀柄后，我用螺丝将两块刀片平行地固定在手柄前端，就大功告成了。可用了一段时间后，我发现这种刀只能裁出一种规格的纸条，于是又进行研
针对河北省地下水超采问题,2014~2016年开展了为期3年的试点治理。在试点过程中,采取“节、引、蓄、调、管”5项措施的治理模式;提出了以节约用水、引蓄补水、开源与节流、治
一、问题的提出 当重力坝坝基内存在软弱夹层时,坝体的抗滑稳定处于不利情况。此时必须核算坝体带动部分基岩沿软弱面滑动失稳的可能性,即进行坝体的抗滑稳定计算。根据不完
期刊
某大雁：“你们听说了吗？那个‘吃阳光’的‘飞行怪客’又现身了!”某麻雀：“‘吃阳光’的‘飞行怪客’？它是谁？我记不起来了.”某天鹅：“就是那个身子不大,翅膀却很长,喜欢穿一身黑