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为了解决微致动器结构功能函数不能明确表示的可靠度分析问题,以BP神经网络、响应面法为基础,提出了求解可靠度的几何分析新方法:对神经网络响应面法加以改进并利用其拟合极限状态函数,得到显示的结构功能函数表达式;利用均值波动法对微致动器局部应力最大处进行可靠度分析,求得结构可靠度因子β为3.353。与JC法比较,方法简便可行,为结构可靠度计算问题提供了新的有效的思路和方法。