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期刊论文
CMOS/BESOI电特性的温度依赖性研究
CMOS/BESOI电特性的温度依赖性研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vctlu
【摘 要】
:
采用I-V测试技术,研究了CMOS/BESOI器件的I-V亚阈特性与温度的关系。结果表明,随着温度的升高,I-V曲线的亚或斜率减小,且阈电压漂移增加。
【作 者】
:
高剑侠
严荣良
任迪远
竺士扬
李金华
林成鲁
【机 构】
:
中国科学院新疆物理所,中国科学院上海冶金所,江苏石油化工学院
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
CMOS器件
BESOI器件
电特性
温度依赖性
I-V tempercqture charateristics
subthreshold slope
dri
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采用I-V测试技术,研究了CMOS/BESOI器件的I-V亚阈特性与温度的关系。结果表明,随着温度的升高,I-V曲线的亚或斜率减小,且阈电压漂移增加。
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