【摘 要】
:
多层膜极紫外光刻掩模“白板”缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模“白板”上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案。基
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院大学,中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
【基金项目】
:
吉林省重大科技攻关专项(No.20140203001GX)
论文部分内容阅读
多层膜极紫外光刻掩模“白板”缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模“白板”上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案。基于标量衍射理论,计算了系统横向和轴向分辨率。利用MATLAB建模仿真,在数值孔径为0.65、工作波长为405 nm时,分析比较了微分干涉差共焦显微系统、传统显微系统和共焦显微系统的分辨率。结果表明微分干涉差共焦显微系统具有230 nm的横向分辨率和25 nm轴向台阶高度差的分辨能力(对应划痕等缺陷形式)。此外,仿真和分析了实际应用中探测器尺寸、样
其他文献
为了提高表面放电光泵浦源的寿命,以Al2O3陶瓷作为放电基板,研制了分段表面放电光泵浦源。基于放电电压和电流波形,详细研究了泵浦源的放电周期,放电通道电阻,能量沉积效率和
1辆林海雅马哈100 mL踏板车,由车主自己买配件将原车气缸缸径改装成56 mm水冷,改装后车辆怠速时还好,但加一点油门发动机就会发出"咔咔咔叮叮叮"不规律的异响,并有轻微的烧机油
他6岁时,16岁的她成了别人的新娘,新娘惊鸿一瞥令男儿情窦初开;他16岁时,26岁的她不幸丧夫守寡,孤儿寡母令血性小伙不胜爱怜;19岁时,为避闲言碎语,他毅然和她逃至与世隔绝的深山老林,
针对板翅式换热器封头强度设计问题,采用有限元法及电测法对内压作用下的正交接管封头进行了研究,给出了比率塑性功曲率(RPWC)准则、塑性功曲率(PWC)准则、零曲率(ZC)准则的
案例2005年12月26日,约晚8时,两名警察在押解嫌疑人过程中,嫌疑人挣脱控制,仓皇中,却从五楼摔下,后经抢救无效死亡。死者家属带着诸多疑问翟政法机关“大接访”活动中向检察机关反
针对高温阀门因长期在高温工况下工作而带来的安全性问题,从高温阀门的结构设计和高温阀门的结构强度两个方面出发,对高温阀门的研究现状进行了调研。简述了高温阀门运动部件
针对数控机床进给系统位移波动对加工精度、加工质量的影响等问题,将自适应滤波技术应用到了滚珠丝杠进给系统运动控制领域。采用了最小均方误差准则,根据误差源选取了参考信
陕北某矿超大采高综采工作面地表对应位置为区域内主要的泄洪通道,为防止工作面回采活动导致基岩含水层和松散含水层通过裂隙带进入工作面造成工作面突水事故,采用视电阻率监
上湾煤矿12401工作面为我国首个采高达到8.8 m综采工作面,研究掌握8.8 m超大采高工作面基本顶来压规律以及与基岩层厚度的相关关系,对于保证工作面安全高效开采、支架合理选