【摘 要】
：
通过调节磁控溅射过程中通入氧气的流量,在二氧化硅基片上制备具有"富氧层+贫氧层"结构的（400）高度择优的ITO薄膜。采用XRD、SEM等对薄膜的微观结构进行了表征,并对其可见光透
【机 构】
：
桂林电子科技大学材料科学与工程学院
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(61540073);广西自然科学基金资助项目(2016GXNSFAA380053);广西信息材料重点实验室基金资助项目(161014-Z)
论文部分内容阅读
通过调节磁控溅射过程中通入氧气的流量,在二氧化硅基片上制备具有"富氧层+贫氧层"结构的（400）高度择优的ITO薄膜。采用XRD、SEM等对薄膜的微观结构进行了表征,并对其可见光透过率和红外反射率进行了研究。结果显示,富氧层厚度薄时有利于获得（400）方向择优的ITO薄膜,同时（400）方向的XRD衍射峰强度随富氧层厚度的增加而降低。制备所得的厚度为350nm的ITO薄膜断面呈柱晶状,其表面粗糙度仅为2.9nm,可见光透光率可达87%,2.515μm波长的红外反射率为85%,薄膜的电阻率为1.32×10-4Ω·cm,载流子浓度和迁移率分别为1.24×1021cm-3和38.18cm2/（V·s）。"富氧层+贫氧层"的结构有利于同时获得高可见光透过率和高红外反射率的ITO薄膜,为ITO薄膜应用于红外隐身领域提供了新的思路。
其他文献
胎儿游离DNA在母体外周血血浆中的发现颠覆性地改变现有的无创产前检测方法,例如基于孕妇外周血血浆DNA对胎儿染色体异常的无创检测在全球范围内快速得到了认可和广泛应用。
和谐而灵动的课堂交流能激发学生探究的主动性和积极性,激活学生的思维,促进学生深入思考,最终实现能力的提升.因此,数学教师应从创设情境、注重追问和鼓励学生质疑三个方面
针对含焊接缺陷压力管道评定中存在的不确定性,提出了建立在BS7910确定性评定基础上的可靠性评定方法,并开发出含焊接缺陷压力管系安全评定系统.该系统不仅能对含焊接缺陷管
1 微正压装置的技术性能 发电机封闭母线需用微正压气体保持干燥,并防止尘污进入封闭母线的外壳内.微正压装置能使发电机封闭母线外壳内部产生一个略高于外部大气压的干燥气
在消费主义逻辑下,电影《金陵十三钗》不但在命意定位的问题上展现尴尬,在文化政治的处理上也难免尴尬;而文化政治话题在该片中主要体现为身体和文化救赎问题。
研究目的:本研究旨通过随机临床实验的方法观察加减麦冬麻仁汤对老年功能性便秘肠燥津亏证的疗效,并进一步理解方剂的配伍规律。研究方法:将60例满足纳入标准的老年功能性便
尽管对原油中高分子量化合物的形成途径有多种解释, 但其真正来源并不很清楚. 通过对辽河盆地大民屯凹陷典型高蜡油区不同性质源岩抽提物中显晶蜡和微晶蜡含量和组成的定量分
目的:通过研究理气和胃止痛法治疗CAG的临床效果,客观评价中医治疗CAG的的有效性及安全性。为今后有效治疗慢性萎缩性胃炎,阻断其向胃癌发展,降低胃癌发病率提供新的思路,并
目的:通过针刺曲池穴,利用红外热成像技术观察烧山火、透天凉手法产生的针刺效应,初步探析针刺手法与针刺效应的关系及一定量化的针刺手法对健康人穴位皮肤表面温度的影响。
1目的临床与实验共同观察补中益气颗粒是否能成为治疗AR更有效、更安全的药物,探索并总结补中益气颗粒治疗脾气虚型AR的理论基础。2方法2.1临床研究所有病例均来源于2015年3