(400)晶面择优相关硕士博士期刊学术论文

通过调节磁控溅射过程中通入氧气的流量,在二氧化硅基片上制备具有"富氧层+贫氧层"结构的（400）高度择优的ITO薄膜。采用XRD、SEM等对......