【摘 要】
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本文通过大量的实驗提出了这样的事实:即用干涉法測量表面粗糙度时,由于这种方法本身的不可靠性,以致即使整个测量过程都进行得极为严謹,測量结果的不可靠性值仍将会达到±0.
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本文通过大量的实驗提出了这样的事实:即用干涉法測量表面粗糙度时,由于这种方法本身的不可靠性,以致即使整个测量过程都进行得极为严謹,測量结果的不可靠性值仍将会达到±0.025～0.005微米。相对于根据对干涉条纹讀数可能达到的精度而得出的干涉法的测量精度(±0.050～0.005微米)而言,这是一个值得注意和进一步探讨的問題。
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