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对基于MEMS微加工工艺的微致冷器件和微发电器件的最新研究情况进行了综述,对各种结构形式和研究现状进行了综合比较.从微热电器件的优化设计方法、微机械加工工艺等方面,分析了提高微热电器件性能的途径.
基于MEMS技术的微热电器件的研究进展
【摘 要】
：
对基于MEMS微加工工艺的微致冷器件和微发电器件的最新研究情况进行了综述,对各种结构形式和研究现状进行了综合比较.从微热电器件的优化设计方法、微机械加工工艺等方面,分
【机 构】
：
北京理工大学
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2004年1期
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