【摘 要】
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系统地介绍了碳膜的制备技术及其厚度测量方法,碳膜制备技术有碳弧法、电阻加热法、电子轰击法、离心沉淀法和裂解乙烯法。碘膜厚度测量方法包括称重法、背散射法、等效空气
【机 构】
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中国原子能科学研究院,中国原子能科学研究院 北京,北京
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系统地介绍了碳膜的制备技术及其厚度测量方法,碳膜制备技术有碳弧法、电阻加热法、电子轰击法、离心沉淀法和裂解乙烯法。碘膜厚度测量方法包括称重法、背散射法、等效空气法和吸光光度法。
The carbon film preparation technology and its thickness measurement method are systematically introduced. The carbon film preparation technology includes carbon arc method, resistance heating method, electron bombardment method, centrifugal precipitation method and ethylene cracking method. The iodine film thickness measurement methods include weighing method, backscattering method, equivalent air method and absorptiometry.
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