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采用ＰＥＣＶＤ方法制备了氧化物薄膜，为了改善气体敏感特性将几种元素覆盖于薄膜表面进行了表面修饰。
薄膜的表面修饰对气体敏感特性的影响
【摘 要】
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采用ＰＥＣＶＤ方法制备了氧化物薄膜，为了改善气体敏感特性将几种元素覆盖于薄膜表面进行了表面修饰。
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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云南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年1期
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