ERD法测量固体材料中氢深度分布的模拟计算

来源 :兰州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z957558481
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本文论述了掠射几何条件ERD法测量固体材料中氢深度分布的计算方法,并用Mylar膜检验了编写的计算程序.在小于800nm的范围内,由反冲质子谱推算出的Mylr膜氢深度分布与理论计算值符合较好.若对该方法作进一步修正,可望推算大于1μm的氢深度分布.
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