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ERD法测量固体材料中氢深度分布的模拟计算
ERD法测量固体材料中氢深度分布的模拟计算
来源 :兰州大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z957558481
【摘 要】
:
本文论述了掠射几何条件ERD法测量固体材料中氢深度分布的计算方法,并用Mylar膜检验了编写的计算程序.在小于800nm的范围内,由反冲质子谱推算出的Mylr膜氢深度分布与理论计算
【作 者】
:
宋世战
胡尚斌
【机 构】
:
兰州大学现代物理系,兰州大学现代物理系
【出 处】
:
兰州大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1990年4期
【关键词】
:
固体材料
测量
氢
分布
ERD法
elastic recoil
depth profile
depth resolution
recoil proton
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本文论述了掠射几何条件ERD法测量固体材料中氢深度分布的计算方法,并用Mylar膜检验了编写的计算程序.在小于800nm的范围内,由反冲质子谱推算出的Mylr膜氢深度分布与理论计算值符合较好.若对该方法作进一步修正,可望推算大于1μm的氢深度分布.
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