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微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评(下)
微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评(下)
来源 :航空制造工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fat1984yy
【摘 要】
:
微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评(下)中国航空信息中心饶勤4微机械制造技术的发展及应用1.微机械制造技术及其应用(1)辅助加工技术包括金刚石微细切削、电火花加工和化学铣
【作 者】
:
饶勤
【机 构】
:
中国航空信息中心
【出 处】
:
航空制造工程
【发表日期】
:
1998年04期
【关键词】
:
微机械制造技术
化学铣削
微机电系统
反应离子束蚀刻
电火花加工
微机械加工技术
微机械结构
隧道效应
聚焦离子束
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微机电系统的国防应用及其制造技术发展述评(下)中国航空信息中心饶勤4微机械制造技术的发展及应用1.微机械制造技术及其应用(1)辅助加工技术包括金刚石微细切削、电火花加工和化学铣削等工艺,这类工艺能以较大的灵活性和较快的速度加工出形状多样的、尺寸在10...
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