【摘 要】
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为了解决传统的铂电阻、金属等温度传感器灵敏度不高及性能不稳定的问题,选用新型纳米材料还原氧化石墨烯为温敏材料,利用mems工艺制备了叉指电极热敏电阻,通过滴涂法将还原氧化石墨烯与叉指电极有效组装起来,制备了一种硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器,对还原氧化石墨烯形貌进行了扫描电子显微镜(SEM)表征,并搭建了测试系统对性能进行了测试.结果表明,从30℃～210℃范围内,传感器的电阻随温度的上升而下降,传感器的灵敏度约为85.977 19 Ω/℃,线性度高达0.980 49,同时具有极小的迟滞性和良好的稳定
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 太原030051;北方自动控制技术研究所 太原030006
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为了解决传统的铂电阻、金属等温度传感器灵敏度不高及性能不稳定的问题,选用新型纳米材料还原氧化石墨烯为温敏材料,利用mems工艺制备了叉指电极热敏电阻,通过滴涂法将还原氧化石墨烯与叉指电极有效组装起来,制备了一种硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器,对还原氧化石墨烯形貌进行了扫描电子显微镜(SEM)表征,并搭建了测试系统对性能进行了测试.结果表明,从30℃～210℃范围内,传感器的电阻随温度的上升而下降,传感器的灵敏度约为85.977 19 Ω/℃,线性度高达0.980 49,同时具有极小的迟滞性和良好的稳定性.
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