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针对IA64安腾家族处理器，提出了一种固件实现的处理器故障注入技术，克服传统软硬件故障注入方法难以访问复杂处理器内部结构的缺点，并具有开发代价低，对目标系统硬件没有损害，可移植性好等优点．详细阐述了该故障注入技术的原理，故障类型，故障注入工具的结构和实现方法，并通过实验验证了故障注入工具的在系统可靠性评测方面的有效性．