【摘 要】
：
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺（PI）薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制
【机 构】
：
中国科学技术大学国家同步辐射实验室,北京空间机电研究所
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（No.11375175）
论文部分内容阅读
为了满足空间衍射成像系统对大口径、轻量化衍射元件的需求,设计制作了直径为400mm的聚酰亚胺（PI）薄膜菲涅尔衍射元件。通过紫外光刻、离子束刻蚀等微细加工方法在石英基底上制作衍射图形,然后将衍射图形复制到PI薄膜上得到菲涅尔衍射型薄膜元件。结合有限元法探究了薄膜复制过程中热应力的变化规律及降低热应力的方法,分析了影响薄膜衍射效率的因素及薄膜制作误差、温度变化对薄膜成像的影响,最终实现了大面积薄膜与基底的分离,并通过局部氧气等离子体轰击提高了薄膜衍射效率的均匀性。经测试,薄膜菲涅尔衍射元件的厚度约为20μm
其他文献
目的探讨呼气末正压通气(PEEP)对骨肿瘤患者全麻手术期间呼吸功能及血流动力学的影响。方法选取2013年1月至2014年1月进行全麻下骨肿瘤手术的ASA分级Ⅰ~Ⅱ级的骨肿瘤患者30例
外国人犯罪问题在中国已不再是潜在的威胁，它已经开始释放较大的破坏力，给现有的犯罪预防和制裁体系带来巨大冲击。$$ 随着中国国际化进程的加快加深境内外籍人品不仅人数激
公民意识是21世纪的一种现代化意识,基于公民意识教育视角的高等教育院校思想政治教学是当今时代高等教育面临的主要课题,也是近几年教育界专家较为关注的问题之一。从公民意
社会资本在教育领域中的运用,突显了教育主体间交往的本质.优质的社会资本可以使高校教师获得专业道德、专业理念、专业知识方面的理解、专业情感、专业态度方面的支持、专业
在如今的数字时代，抠像合成技术的使用帮助了影视行业进行画面的后期处理，以求得到理想的画面。本文主要是对影视后期制作中抠像合成技术的应用做了一些探讨，简述了抠像合成的准
图像测量技术具有非接触性、抗干扰性等优点被越来越多地应用到双次级永磁直线电机动子位置检测中。针对图像采集过程中所产生的图像模糊问题,提出了一种精确辨识运动模糊参数的方法,实现了直线电机动子位置的精确测量。采用数字散斑图像作为原始拍摄面,通过相机获得包含动子位置信息的序列运动模糊图像。利用奇异值分解对运动模糊图像进行去噪重构预处理,降低噪声对运动模糊参数辨识精度的影响。求取预处理后图像的倒谱图,通过
对大学生进行思想政治教育的目的是为了能够正确地培养人才,根据国家的需求和社会的发展情况培养能为社会作贡献的优秀人才,同时,思想政治教育也是确立为谁培养的问题关键,是
对激光跟踪仪的跟踪伺服控制系统进行了整体研究并给出了总体设计方案。针对跟踪目标的精密探测问题,研究了新型探测手段以及微弱光电信号的精细调理技术与数字滤波方法,使得
文化馆是我国文化事业单位的重要组成部分,对于推进我国文化建设事业有着至关重要的影响,而思想政治工作作为文化 馆的重要工作内容,对其精神文化建设起到了重要的促进作用。
本文主要探讨对医院配电室和特种设备的安全管理,消除安全隐患,间接地为医院创造效益。