【摘 要】
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本文是在ＣＧＪＹ－７７０２型低差压硅集成压力传感器研制的基础上，结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案，对高稳定低差压传感器的实现，在主要工艺参数的选择上作了详细分析，并对非线性产生原
【机 构】
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本文是在ＣＧＪＹ－７７０２型低差压硅集成压力传感器研制的基础上，结合我国的设备条件和工艺特点提出设计方案，对高稳定低差压传感器的实现，在主要工艺参数的选择上作了详细分析，并对非线性产生原因进行了讨论。
Based on the development of CGJY-7702 low differential pressure silicon integrated pressure sensor, the design scheme is put forward based on the equipment conditions and process characteristics of our country. For the realization of high stability and low differential pressure sensor, the main process parameters are selected Detailed analysis, and non-linear causes were discussed.
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