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基于激光冷却与囚禁原理的原子阱痕量检测方法，可以对氯的长寿命低丰度放射性同位素进行高灵敏度检测，在地球物理与环境科学领域具有广泛应用。亚稳态氯原子束流主要采用射频气体放电方法产生，是原子阱痕量检测方法的关键技术之一。搭建了亚稳态氯原子柬流系统，测量了不同放电参数下的亚稳态氯原子束流强度，研究了射频频率、射频功率和放电腔气压对于亚稳态氯原子束流强度的影响规律。研究结果表明，该柬流系统中最佳射频频率为233MHz，射频饱和功率为36W，最优气压为7×10-3Pa．对应亚稳态氯原子束流强度为1．58&