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分无镀膜(或镀膜很薄)和有较厚镀膜两种情况，对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算.针对有较厚镀膜的硅微谐振器，在理论分析的基础上，提出了一种新的光激振幅计算模型，理论计算与实验测试值吻合得很好.
光激励硅微机械谐振器的振幅分析及计算
【摘 要】
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分无镀膜(或镀膜很薄)和有较厚镀膜两种情况，对硅微谐振器的光激励振幅进行了分析计算.针对有较厚镀膜的硅微谐振器，在理论分析的基础上，提出了一种新的光激振幅计算模型，理论计
【机 构】
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西安交通大学电气测量教研室,西安交通大学电气测量教研室,西安理工大学
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金，陕西省教育厅资助项目
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