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该实用新型专利是一种砷化镓基半导体-氧化物绝缘衬底。
砷化镓基半导体-氧化物绝缘衬底
【摘 要】
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该实用新型专利是一种砷化镓基半导体-氧化物绝缘衬底。
【机 构】
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中国科学院物理研究所
【出 处】
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科技开发动态
【发表日期】
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2004年11期
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