【摘 要】
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基于金属有机化学气相沉积法（MOCVD）,在沉积有Y2O3/YSZ/CeO2（YYC）多层过渡层的Ni-W_at.5%金属基带上沉积YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导薄膜。通过对单源进液系统的优化,使金属有机源连续稳
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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基于金属有机化学气相沉积法（MOCVD）,在沉积有Y2O3/YSZ/CeO2（YYC）多层过渡层的Ni-W_at.5%金属基带上沉积YBa2Cu3O7-x（YBCO）超导薄膜。通过对单源进液系统的优化,使金属有机源连续稳定地输送到蒸发皿进行闪蒸。优化总气压并通入N2O气氛,以获得高质量的YBCO薄膜。在优化的温度条件下,总压为380Pa,氧气和N2O分压为200Pa（氧气、笑气流量比为5：3）,获得了较高的临界电流密度Jc=0.2MA/cm2。在延续织构方面,由CeO2的面外半高宽3.6o降到YBCO（0
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