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采用Fluent、Templot等相关软件对PECVD布气装置气流的流动过程进行模拟，并进行可视化分析；得出气流人口采用直口开孔方式，同时，气流人口到布气板距离L=4．5mm时布气最均匀，这为均匀布气装置的研制提供了依据。
PECVD布气装置气流场的模拟分析
【摘 要】
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采用Fluent、Templot等相关软件对PECVD布气装置气流的流动过程进行模拟，并进行可视化分析；得出气流人口采用直口开孔方式，同时，气流人口到布气板距离L=4．5mm时布气最均匀，这为均匀
【机 构】
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沙洲职业工学院,上海大学机电工程及自动化学院
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2012年12期
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