近三十年来,旋转磁控溅射阴极广泛应用于大面积薄膜制备领域。实现真空腔室内充入工艺气体的稳定且均匀的分布,对获取膜厚均匀性一......

推导了在设计真空镀膜设备时,计算镀膜室内布气管的直径和出气孔孔径的公式,di=[d-41-D-4L∑im=2(n+1-m)/(h+10-6Bq)]-1/4,以达到......

采用Fluent、Templot等相关软件对PECVD布气装置气流的流动过程进行模拟，并进行可视化分析；得出气流人口采用直口开孔方式，同时，气流人......

采用流体力学有限元模拟方法,对化学气相沉积(CVD)设备系统内流场进行模拟分析,得到平板布气装置中孔径尺寸、孔径分布与预制体局......

为提高气提式污水泵的提升性能,对其布气装置进行设计和优化,并通过大管径气提泵试验平台,对不同布气孔径和进气方式的布气装置进......