【摘 要】
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采用磁控溅射技术在直径为5.8 mm的蓝宝石基底上制备厚度约为1μm的MgAlH储氢薄膜,溅射气氛为体积流量比3∶1的氩氢混合气,采用SEM和XRD技术对MgAlH薄膜的微观结构和成分进行
【机 构】
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中国物理研究院化工材料研究所,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(11902305)
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采用磁控溅射技术在直径为5.8 mm的蓝宝石基底上制备厚度约为1μm的MgAlH储氢薄膜,溅射气氛为体积流量比3∶1的氩氢混合气,采用SEM和XRD技术对MgAlH薄膜的微观结构和成分进行表征。研究结果表明,相较于MgAl薄膜,制备的MgAlH薄膜表面比较粗糙,致密度较低。XRD分析结果表明,MgAlH薄膜中存在MgH2相。根据薄膜样品的XRD图谱,利用K值法计算得到MgAlH薄膜中MgH2的相对含量为质量分数30%。相较于MgAl薄膜,MgAlH薄膜的热导率未发生明显改变,但其光吸收率提高了18%左右。
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