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四探针薄层电阻测试仪具有量程选择方便、恒流源电流可调及数据读出迅速、稳定的特点。因此，本文结合半导体制程中扩散层薄层电阻测量的实际需要，介绍了四探针薄层电阻测试仪的测试原理和电路原理，以期为相关学者的研究提供参考。
四探针薄层电阻测试仪的电路原理
【摘 要】
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四探针薄层电阻测试仪具有量程选择方便、恒流源电流可调及数据读出迅速、稳定的特点。因此，本文结合半导体制程中扩散层薄层电阻测量的实际需要，介绍了四探针薄层电阻测试仪的
【机 构】
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广州半导体材料研究所
【出 处】
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河南科技
【发表日期】
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2018年14期
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