应力对LaAlO3／BaTiO3超晶格结构及性能的影响

来源 :电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wjh198004546

【摘要】

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采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向SrTiO3或Nb:SrTiO3单晶基片上成功外延生长不同结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格.利用高能电子衍射技术和X射线衍射技术对LaAlO3/BaTiO3超

【作者】

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李燕郝兰众邓宏张鹰姬红

【机构】

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电子科技大学微电子与固体电子学院

【出处】

：

电子科技大学学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

超晶格反射式高能电子衍射 X射线衍射剩余极化 superlattice reflection high-energy electron diffracti

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划)

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采用激光脉冲分子束外延技术,在(100)取向SrTiO3或Nb:SrTiO3单晶基片上成功外延生长不同结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格.利用高能电子衍射技术和X射线衍射技术对LaAlO3/BaTiO3超晶格的生长过程和微结构进行了表征.发现由于LaAlO3和BaTiO3晶格常数的不匹配,在LaAlO3/BaTiO3超晶格中存在应变,该应变又对超晶格的铁电性能具有很大的影响.而不同的结构存在的应变不同,非对称结构的LaAlO3/BaTiO3超晶格的应变随每个周期中LaAl3层厚度的增加、BaTiO3层

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