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针对当前国产的单圆柱靶磁控溅射镀膜机存在的问题，进行六项改造，使产品性能得到显著提高，整块玻璃的膜层厚度比较均匀，色差小，成品率也提高了。
单室圆柱靶磁控溅射镀膜机技改的尝试
【摘 要】
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针对当前国产的单圆柱靶磁控溅射镀膜机存在的问题，进行六项改造，使产品性能得到显著提高，整块玻璃的膜层厚度比较均匀，色差小，成品率也提高了。
【机 构】
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秦皇岛玻璃工业研究设计院
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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1997年2期
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